本發(fā)明公開(kāi)了一種封閉式自體循環(huán)的堿性蝕刻液循環(huán)再生系統(tǒng)，它包括依次連接的蝕刻線（1）、中轉(zhuǎn)母液罐（2）、母液罐（3）、銅離子無(wú)損分離系統(tǒng)（4）、再生子液罐（5）、配液罐（6）、過(guò)濾器（7）和子液罐（8），銅離子無(wú)損分離系統(tǒng)還連接有一提銅裝置（9），蝕刻線（1）、中轉(zhuǎn)母液罐、母液罐、銅離子無(wú)損分離系統(tǒng)（4）、再生子液罐（5）、配液罐（6）、過(guò)濾器（7）、子液罐（8）、提銅裝置（9）上均設(shè)置有檢測(cè)對(duì)應(yīng)部件的檢測(cè)儀，檢測(cè)儀與控制器連接，控制器內(nèi)設(shè)置有能將異常信息發(fā)給對(duì)應(yīng)負(fù)責(zé)人的短消息模塊。本發(fā)明的有益效果是：它具有藥液回用率高、安全性能高的優(yōu)點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)了蝕刻液封閉式自體循環(huán)和平行式無(wú)損分離。