本發(fā)明公開了一種基于DSP機器視覺的太陽能硅片表面檢測裝置，屬于無損檢測技術領域。包括機器視覺模塊、工控模塊、自動分揀模塊和傳輸帶裝置，機器視覺模塊由第一攝像裝置、第二攝像裝置和DSP板卡連接組成；自動分揀模塊為PLC和并聯(lián)機器人組成；DSP板卡、PLC均與工控模塊連接；第一攝像裝置、并聯(lián)機器人設置在傳輸帶裝置的上方，第二攝像裝置設置在傳輸帶裝置的下方。本發(fā)明還公開了一種基于DSP機器視覺的太陽能硅片表面檢測方法。通過機器視覺模塊來完成圖像采集和分析處理任務，減輕了工控模塊的負擔，提高檢測速度和分級準確率；采用并聯(lián)機器人實現(xiàn)分揀，提高了分揀效率和準確率。