本發(fā)明提供的是一種雙向無(wú)閥微泵。它包括泵體和泵蓋,在泵體上開有泵腔、流體進(jìn)、出口溝道等結(jié)構(gòu)圖形,泵蓋上開有進(jìn)口和出口,泵體與泵蓋鍵合在一起,鍵合后在泵體與泵蓋之間形成薄壁孔口與厚壁孔口,泵腔外安裝壓電驅(qū)動(dòng)元件。本發(fā)明產(chǎn)品的優(yōu)點(diǎn)在于:微泵體積小、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、無(wú)電磁干擾、易于操作、適合批量化生產(chǎn),并能實(shí)現(xiàn)對(duì)流體的正、反向泵送。該泵在化學(xué)分析、醫(yī)療器械、粘接劑噴涂,以及汽車發(fā)動(dòng)機(jī)燃料供給等方面均有應(yīng)用前景。因其無(wú)閥門、且具有正、反向泵送特性尤其適用于微溝道及微小零部件的清洗,在微流體系統(tǒng)中具有很大的應(yīng)用潛力。