一種制備FIB三維重構(gòu)用“鼻尖”試樣的方法，綜合應(yīng)用切割技術(shù)、電化學拋光、砂紙打磨的手段，其工藝特征為：普通金相制樣；在光學顯微鏡或掃描電鏡下標記樣品待測區(qū)域；使用切割技術(shù)粗加工，使得樣品呈“L”形或條形，待測區(qū)域位于樣品前端，初步形成“鼻尖”，“鼻尖”寬度為1mm以下；用高目砂紙打磨“鼻尖”兩側(cè)，或借助電化學拋光腐蝕樣品前端，使得“鼻尖”寬度進一步縮減至100μm以下；用FIB系統(tǒng)精修“鼻尖”達到指定尺寸。本發(fā)明的優(yōu)點為在所得樣品與利用FIB傳統(tǒng)挖坑技術(shù)制樣品質(zhì)一致的條件下大大降低制樣成本，有力促進FIB在三維表征分析方面的推廣應(yīng)用。