本發(fā)明公開了一種原位電化學SEM液體芯片組件、其制備方法與應(yīng)用。所述芯片組件包括密封結(jié)合的基片和蓋片以及儲液池和至少兩個電極，所述儲液池至少用以容納電解液，該至少兩個電極彼此間隔設(shè)置，所述電極的至少局部分布于儲液池內(nèi)，所述基片或蓋片上與儲液池對應(yīng)位置處還分布有觀察窗口，所述觀察窗口至少用以對儲液池內(nèi)的物質(zhì)進行觀測，所述觀察窗口上密封覆蓋有至少可供電子束通過的薄膜，所述芯片組件還包括與儲液池連通的注液孔。本發(fā)明大幅簡化了原位SEM芯片組件的構(gòu)造，降低其制造成本及使用難度，且其通用性強，利于在電化學反應(yīng)過程中進行原位SEM表征等。