本發(fā)明電熱雙參數(shù)檢測芯片及其制備方法屬于傳感技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及空氣、水及生物體中某種化學(xué)物質(zhì)的檢測。該芯片包括襯底、支撐膜片、測量熱參數(shù)變化的溫度傳感器、測量電參數(shù)變化的測量電極以及與被測物作用后會發(fā)生某種可逆或不可逆物理化學(xué)變化的敏感膜;其芯片襯底為框形,中心部位有一通孔,其上表面固接一支撐膜片,支撐膜片上表面中心部,位于通孔的中心,固接有一敏感膜,在支撐膜片上表面和敏感膜下表面之間,有至少一對測量電極和至少一個溫度傳感器。本發(fā)明同時檢測電熱兩個參數(shù),提高了檢測準(zhǔn)確性;因采用微電子機(jī)械系統(tǒng)技術(shù)制備,降低了檢測系統(tǒng)成本、體積以及功耗;并使膜片的熱容量很小,熱參數(shù)的測量精度大大提高。