本發(fā)明提供一種基于硅棒線切割廢料制備硅氧化物的方法，涉及硅材料領(lǐng)域。本發(fā)明將硅棒線切割產(chǎn)生的硅廢料通過熱氧化(和歸中反應(yīng))直接得到硅氧化物材料，不需要經(jīng)過蒸發(fā)和冷凝過程，也無需經(jīng)過粉碎破裂，工藝過程簡單，成本低廉；通過控制反應(yīng)條件，可以實現(xiàn)氧原子和硅原子比例在0.16∶1～2∶1范圍內(nèi)的調(diào)節(jié)；充分利用硅棒線切割產(chǎn)生的硅廢料來制備硅氧化物，進(jìn)一步將其應(yīng)用到制備鋰離子電池或石英坩堝中，能夠促進(jìn)硅廢料的高價值利用。