本發(fā)明公開了一種基于電光效應(yīng)的單片集成光學(xué)加速度計。包括位于封裝外殼內(nèi)的寬譜光源、模斑轉(zhuǎn)換器、馬赫曾德干涉儀結(jié)構(gòu)、光電探測器、上電極、下電極、鈮酸鋰單晶薄膜層、二氧化硅緩沖層、硅襯底、彈簧振子結(jié)構(gòu)、靜電力反饋模塊和制冷片，馬赫曾德干涉儀結(jié)構(gòu)由1:2型Y波導(dǎo)、2:1型Y波導(dǎo)構(gòu)成；寬譜光源的光通過模斑轉(zhuǎn)換器耦合進入1:2型Y波導(dǎo)后被分為兩束光，兩束光經(jīng)1:2型Y波導(dǎo)的兩個分支端進入2:1型Y波導(dǎo)，最后直接耦合進入耦合進入光電探測器中。本發(fā)明相比分立器件而言降低了加速度計傳感器的體積，集成度高、精度高、抗電磁干擾、能在惡劣環(huán)境下工作、制備工藝簡單、易于封裝。