本發(fā)明涉及一種全無(wú)機(jī)固態(tài)電致變色器件用電解質(zhì)薄膜的制備方法，該制備方法具體步驟如下：以LiMg合金作為靶材，并將清洗備用的襯底基片置于濺射腔室內(nèi)的樣品旋轉(zhuǎn)臺(tái)上，濺射腔室內(nèi)預(yù)抽真空度＜1.0×10?4Pa；將氬氣與氧氣充分混合后通入濺射腔室內(nèi)至濺射工作氣壓0.3～1Pa，混合氣體中氮?dú)夂蜌鍤獾牧髁勘瓤刂圃?0%～50%；在樣品旋轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)工作、脈沖直流電源占空比為40%～80%、濺射功率密度控制在3W/cm2以下，靶基距離為6～12cm，濺射60～120min，濺射成LiMgN薄膜。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于：本發(fā)明采用脈沖直流反應(yīng)磁控濺射制備無(wú)機(jī)固態(tài)鋰離子電解質(zhì)LiMgN薄膜，使得連續(xù)、在線、大面積工業(yè)化生產(chǎn)電致變色玻璃成為可能。