本發(fā)明涉及一種光學器件,所述光學器件包括位于光電襯底(如鈮酸鋰)上的被光耦合至光電襯底中的波導的無源高約束波導(如以富硅氮化硅材料制成)。此高約束波導結(jié)構(gòu)可以實現(xiàn)多種光電器件,包括:定向耦合器、緊湊型抽頭耦合器、折疊式光電器件、包括環(huán)形諧振腔的光電調(diào)制器、光電光柵。本發(fā)明實現(xiàn)的進一步應用還包括集成有光電有源波導的混合無源平面光波回路(PLC),其采用該高約束波導作為在無源與有源部件之間傳遞光功率的中間波導。
聲明:
“光電襯底上的高約束波導” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)