采用射頻等離子體球化處理粉末的基本原理：形狀不規(guī)則的原料粉體顆粒由攜帶氣體通過(guò)加料槍噴入等離子體矩中，被迅速加熱而熔化，熔融的顆粒在表面張力作用下形成球形度很高的液滴，并在極短的時(shí)間內(nèi)迅速凝固，從而形成球形的固態(tài)顆粒。采用射頻等離子體球化處理粉末，利用射頻等離子體具有能量密度高，加熱強(qiáng)度大，等離子體矩的體積大，處理鋁合金材料工藝簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)。由于沒有電極，不會(huì)因電極蒸發(fā)而污染產(chǎn)品，有利于保證粉末的高純度。

技術(shù)參數(shù)：

1. 具備球化和提純高熔點(diǎn)金屬粉末的能力。

2. 球化處理能力：純鉬粉時(shí)，產(chǎn)能≥3kg/h，球化率≥95%，粒度D50=20-35μm。

3. 無(wú)電極，運(yùn)行過(guò)程中不產(chǎn)生損耗和污染;采用氬氣、氫氣、氦氣、氮?dú)獾榷喾N氣體，且能夠在工藝過(guò)程中進(jìn)行切換。

4. 工藝控制系統(tǒng)：計(jì)算機(jī)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)工藝過(guò)程自動(dòng)控制，所有工藝參數(shù)包括送粉率、氣流量等可自動(dòng)控制，可設(shè)置和儲(chǔ)存多條工藝曲線。

5. 壓力控制系統(tǒng)：反應(yīng)器壓力控制系統(tǒng)與等離子體系統(tǒng)連鎖，操作氣氛及壓力可自由選擇惰性、還原性或氧化性操作氣氛，壓力150～760 Torr (20～101kPa)范圍內(nèi)可控。

6. 送料系統(tǒng)：具備自動(dòng)送料功能;能在惰性氣體保護(hù)下送粉;粉末粒度范圍(常規(guī)材料)為10-200μm，送粉速率為1-40kg/h。

7. 球化室底部和旋風(fēng)除塵器底部都應(yīng)配置粉末收集罐。粉末收集罐帶有氣密閥門和水冷結(jié)構(gòu)，可氣氛保護(hù)，確保金屬粉末全程不與空氣接觸。

8. 真空系統(tǒng)：真空腔具備內(nèi)循環(huán)水冷卻系統(tǒng)，大容量水循環(huán)閉流式真空泵、帶壓力控制閥。預(yù)抽真空≤20kPa。

9. 冷卻系統(tǒng)：帶完整的水冷卻系統(tǒng)管路，配有流量安全鎖定裝置;具備水溫、流量監(jiān)測(cè)和報(bào)警系統(tǒng);具備停水、停電情況下循環(huán)水安全處理系統(tǒng)，確保設(shè)備安全。

10. 安全和環(huán)境防護(hù)功能：配備防爆閥rupture disk。配置電磁屏蔽系統(tǒng)，具有法拉第電磁屏蔽籠，防止電磁輻射對(duì)操作人員的傷害。