本發(fā)明提供了一種用于芯片成膜的高純五(二甲基氨基)鉭的制備方法，屬于化學(xué)合成技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明首先將TaCl5在有機(jī)溶劑中與5倍的二甲胺反應(yīng)，在鉭金屬原子上引入2個(gè)?NMe2基團(tuán)，形成二(二甲基氨基)三氯化鉭，然后將二(二甲基氨基)三氯化鉭與3倍量的二甲基氨基鋰反應(yīng)得到五(二甲基氨基)鉭。本發(fā)明的制備方法中減少了正丁基鋰的用量，降低了制造成本；且通過(guò)氮?dú)獗Ｗo(hù)的離心工藝分離產(chǎn)品及副產(chǎn)物，解決了不易分離的問(wèn)題，同時(shí)減少了溶劑的用量，降低了由于多次洗滌造成產(chǎn)品與空氣和水汽的接觸頻次，降低了生產(chǎn)成本，提高產(chǎn)品純度。