本發(fā)明公開了一種高品質(zhì)波導結(jié)構(gòu)及制備方法，其制備包括鈮酸鋰薄膜表面鍍金屬鉻膜、飛秒激光直寫鉻膜作掩模層、化學機械拋光、化學氣相沉積以及鈮酸鋰薄膜鍵合等步驟。本發(fā)明方法的制備流程優(yōu)化了化學機械拋光工藝制備波導的構(gòu)型同時具備超低傳輸損耗的特性、優(yōu)異電光特性，為實現(xiàn)鈮酸鋰光子器件邁向產(chǎn)業(yè)化提供了關(guān)鍵步驟，同時也可推進微納光子學、集成光學以及微波光子學的發(fā)展。