本發(fā)明屬于氮化硅陶瓷技術領域，涉及一種高β相含量致密氮化硅陶瓷及低溫制備方法。涉及的一種高β相含量致密氮化硅陶瓷的制備原料包括Si₃N₄粉和燒結助劑；燒結助劑為Li_xMO_y型鋰鹽以及一種或多種其它氧化物組成的復合燒結助劑；其中Li_xMO_y型鋰鹽為LiAlO₂、LiYO₂、LiNbO₃、Li₂ZrO₃、LiYbO₂、Li₂SiO₃中的一種，其它氧化物為稀土氧化物或金屬氧化物，Y₂O₃、CeO₂、Yb₂O₃、MgO、CaO、MgAl₂O₄中的一種或多種；所述復合燒結助劑中Li_xMO_y型鋰鹽和其它氧化物質量比為4~12：0~8；所述Si₃N₄粉與復合燒結助劑質量比為85～94：6～15。本發(fā)明大大降低了燒結溫度，減少了氮化硅陶瓷的揮發(fā)，更好的保持氮化硅陶瓷的優(yōu)異性能。