一種聲表面波器件,包括由64°旋轉(zhuǎn)Y-切割鈮酸鋰(64LN)或36°旋轉(zhuǎn)Y-切割的鉭酸鋰(36LT)構(gòu)成的壓電襯底和在其上形成的叉指電極。叉指電極包括鈦緩沖金屬膜和在其上形成的鋁膜。在64LN襯底上,僅從選區(qū)電子衍射結(jié)果看,鈦緩沖金屬膜和鋁膜都是單晶薄膜;在36LT襯底上,通過在鈦緩沖金屬膜上形成鋁膜可獲得取向能力強(qiáng)的、在(111)方向上取向的多晶鋁膜。當(dāng)鋁膜轉(zhuǎn)化成單晶或取向強(qiáng)的(111)取向多晶體時(shí),都可以阻止鋁原子的遷移,提高功率壽命。