芯軸微球干燥及去除裝置是一種高精度的實(shí)驗(yàn)設(shè)備，由干燥單元和去除單元組成，廣泛應(yīng)用于微球材料的干燥和去除處理。干燥單元包含四個304不銹鋼干燥室，漏率低，最高壓力200kPa，真空度優(yōu)于20Pa，配備加熱保溫系統(tǒng)，最高加熱至90℃，控溫精度1℃。樣品臺分固定剛性機(jī)構(gòu)和無規(guī)運(yùn)動兩種，后者由旋轉(zhuǎn)和敲擊組成，轉(zhuǎn)速和敲擊頻率可調(diào)。去除單元同樣采用304不銹鋼，最高真空度優(yōu)于5×10?2Pa，配備雙層水冷設(shè)計(jì)和電動升降機(jī)構(gòu)。去除室內(nèi)設(shè)置加熱組件，最高加熱溫度400℃，定點(diǎn)300℃時(shí)溫度起伏不大于0.1℃，樣品盤上下100mm范圍內(nèi)的溫度偏差不超過1℃。氣路系統(tǒng)配備質(zhì)量流量控制器和壓力傳感器，出氣口設(shè)置加熱結(jié)構(gòu)，最高加熱溫度170℃，控溫精度高。該裝置結(jié)構(gòu)緊湊，自動化程度高，適用于多種微球材料的干燥和去除處理。

1、芯軸微球干燥單元:

四個干燥室，304不銹鋼材料，漏率小于1.0x10 Pa.L/s。最高壓力200kPa(絕壓)，真空度優(yōu)于20Pa。

樣品臺分兩種:一種是固定剛性機(jī)構(gòu)樣品臺，共四套，豎直安裝在樣品室底部。另一種是無規(guī)運(yùn)動樣品臺，干燥室四專用，一套。無規(guī)運(yùn)動由旋轉(zhuǎn)和敲擊組成，轉(zhuǎn)速可調(diào)，最快30p;敲擊頻率可調(diào)，最大為

10次/min。

干燥室內(nèi)均有一套加熱保溫系統(tǒng)，可使干燥室最高加熱至90℃，控溫精度1℃。

2、芯軸微球去除單元:

最高壓力200kPa(絕壓)，最高真空度優(yōu)于5x10Pa。兩個去除室，304不銹鋼材料，漏率小于1.0x10 Pa.L/s，立式圓筒形鐘罩式結(jié)構(gòu)，雙層水冷設(shè)計(jì)。去除室可電動升降，配電動升降機(jī)構(gòu)。去除室內(nèi)各設(shè)置樣品臺一套。石英樣品托盤五套，直徑約φ100mm，中間為多個凹槽設(shè)計(jì)，凹槽底部為圓弧形且內(nèi)表面光滑。去除室內(nèi)均有加熱組件一套，加熱區(qū)高度不小于300m，最高加熱溫度;400℃;定點(diǎn)300℃時(shí)，溫度起伏不大于0.1℃:樣品盤上下100m范圍的空間實(shí)際溫度偏差不超過1℃去除室氣路系統(tǒng)各一套，進(jìn)氣氣路配藏止網(wǎng)和質(zhì)量流量控制器、壓力傳感器;出氣氣路配截止網(wǎng)和質(zhì)量流量控制計(jì)。去除室出氣至全金屬閥門位置設(shè)置加熱結(jié)構(gòu)，最高加熱溫度為 170℃，定值控溫時(shí)溫度偷差小于2℃。