本發(fā)明涉及一種用于聲表面波（SAW）器件的壓電晶片及其制備方法。本發(fā)明提供了一種壓電晶片，其表層為具有近化學(xué)計(jì)量比結(jié)構(gòu)的富鋰層+還原層、厚度為幾微米至幾十微米，第二層為熱釋電效應(yīng)弱的還原層，第三層為晶片基底層。為了實(shí)現(xiàn)上述多層結(jié)構(gòu)，本發(fā)明提供了一種通過氣相平衡運(yùn)輸方式（VTE）對經(jīng)過還原處理的鈮酸鋰、鉭酸鋰晶片（還原片）進(jìn)行富鋰化的方法，使鋰離子占據(jù)晶片表層中的鋰空位。同時本發(fā)明還提供了一種通過優(yōu)化絲網(wǎng)印刷碳酸鋰粉工藝，對經(jīng)過VTE處理的表層富鋰化的鈮酸鋰、鉭酸鋰晶片進(jìn)行還原處理的方法。最終通過上述方法實(shí)現(xiàn)了具有表層晶格缺陷少、熱釋電效應(yīng)弱的鈮酸鋰、鉭酸鋰多層結(jié)構(gòu)的壓電晶片。