獲得一種鋰靶自動(dòng)再生裝置及鋰靶自動(dòng)再生方法,其具備鋰靶的鋰的膜厚的測(cè)定功能,并且可使蒸鍍?cè)聪蜾嚢幸苿?dòng),自動(dòng)地進(jìn)行消耗了的鋰靶的再生。鋰靶自動(dòng)再生裝置(106)可自動(dòng)地再生鋰靶的鋰,該鋰靶自動(dòng)再生裝置(106)具備使鋰蒸鍍到鋰靶上的鋰蒸鍍單元(1),鋰蒸鍍單元(1)可移動(dòng)到鋰靶側(cè),使鋰蒸鍍到鋰靶上。
聲明:
“鋰靶自動(dòng)再生裝置及鋰靶自動(dòng)再生方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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