一種光波導的制造方法，通過：(a)沉積第一組合物，該第一組合物包括：(i)包含環(huán)氧基和烯基的聚硅氧烷，和(ii)分子量不大于1000且折射率至少為1.47的包含環(huán)氧基的化合物；以及(iii)光致產酸劑；和(iv)氫化硅烷化催化劑，(b)通過暴露于紫外光下固化第一組合物；(c)去除第一組合物的未固化部分的至少一部分以產生最終的圖案化芯層；(d)在最終的圖案化芯層上沉積第二組合物，以產生復合材料，該第二組合物包含：(i)包含環(huán)氧基和烯基的聚硅氧烷，和(ii)包含環(huán)氧基和硅?氫鍵的化合物，其分子量不大于1000且折射率不大于1.45；(iii)光致產酸劑；(e)在20至150℃的溫度下加熱0.1至120分鐘；和(f)通過暴露在紫外線下固化。