本發(fā)明涉及一種含鉿的碳化物涂層的制備方法，就是將四氯化鉿HfCl4蒸汽通入放置有已加熱至工藝溫度的待處理工件且置于通有保護(hù)氣氛的容器內(nèi)，然后通入反應(yīng)量的氫氣H2和甲烷CH4，使四氯化鉿HfCl4蒸汽與氫氣H2和甲烷CH4氣體反應(yīng)并在該工件上沉積制成；制得的涂層為碳化鉿HfCx，X為0.9-1。本發(fā)明不僅獲得較高的涂層沉積速率，而且提高了原材料利用率，省去了復(fù)雜的真空系統(tǒng)，降低設(shè)備及工藝成本，對基材無損傷。同時C/C復(fù)合材料制得的涂層與基體結(jié)合力強，涂層均勻，涂層覆蓋全面，具備良好的長時抗高溫氧化浸蝕應(yīng)用潛力。且涂層總厚度可在5μm～100μm之間任意調(diào)控。