本發(fā)明一種透明導(dǎo)電氧化物薄膜及其制備方法，加熱溫度低，操作簡單，成本低廉，易于實現(xiàn)。所述的方法是在柔性絕緣襯底上制備透明導(dǎo)電氧化物薄膜時或已經(jīng)制備得到透明導(dǎo)電氧化物薄膜后，將厚度為納米級到毫米級的TCO膜或其預(yù)制膜置在電磁輻射中進行處理以提高電導(dǎo)和/或透光性能。本發(fā)明利用電磁輻射加熱優(yōu)化透明導(dǎo)電氧化物薄膜質(zhì)量的方法通過電磁輻射選擇性加熱TCO薄膜(合金膜或?qū)щ娧趸锉∧?。利用電磁輻射輻射的高頻變化的電磁場誘導(dǎo)導(dǎo)電薄膜中的電子隨電磁場高頻運動，從而使導(dǎo)電薄膜本身瞬間發(fā)熱。而作為基片的復(fù)合材料，不導(dǎo)電，不會被顯著加熱。從而能夠在低溫下對不耐高溫的襯底材料上的TCO薄膜進行熱處理。