本發(fā)明一種基于木素磺酸鹽模板劑液相沉淀法制備納米氧化鋅的方法，屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。采用木素磺酸鹽為模板劑，以十二烷基磺酸鈉為表面活性劑，通過液相沉淀法并經(jīng)過不同溫度煅燒得到納米氧化鋅復(fù)合材料。本工藝采用木素磺酸鹽為模板劑和十二烷基磺酸鈉為表面活性劑，通過液相沉淀法并經(jīng)過不同溫度煅燒制備納米氧化鋅復(fù)合物，煅燒過程中木素磺酸鹽的一些基團(tuán)被燒掉，留下空隙，鈣鹽轉(zhuǎn)化為CaCO3，生成的產(chǎn)品為ZnO、CaCO3等的復(fù)合物。本工藝具有易于控制，成本低，工藝和流程簡便的優(yōu)點(diǎn)，制備的納米氧化鋅復(fù)合物，適合工業(yè)化生產(chǎn)。