本發(fā)明屬于復(fù)合材料制備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種熱處理工藝制備碳硅負(fù)極材料的方法。本發(fā)明中碳薄膜和硅薄膜在制備的過(guò)程中均采用熱處理工藝，熱處理的溫度為100?^oC~400?^oC。在集流體上制備了硅薄膜和碳薄膜交替堆疊的結(jié)構(gòu)，且碳薄膜先沉積在集流體上，碳薄膜與集流體直接接觸，交替堆疊結(jié)構(gòu)的最頂層為碳薄膜。本發(fā)明通過(guò)工藝簡(jiǎn)單的磁控濺射沉積技術(shù)在集流體上直接濺射生長(zhǎng)活性物質(zhì)碳硅薄膜，省去了傳統(tǒng)電極制備過(guò)程中粘結(jié)劑的使用，以及輥壓、涂覆、烘干等步驟，減少了制作工序和成本，此外，熱處理工藝一定程度上可以提高電極的儲(chǔ)鋰容量，為高能量密度、高循環(huán)穩(wěn)定性鋰離子電池負(fù)極材料的研發(fā)提供了有效途徑。