本發(fā)明涉及涂料組合物及其用途。本發(fā)明提供一種涂料組合物，包含(a)一氧化鋁前體以及(b)一溶劑。該(a)氧化鋁前體包含鋁元素及與該鋁元素鍵合的如下基團(tuán)：(a1)一具通式-OR1的基團(tuán)，其中R1為H或經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C1至C13烷基；(a2)一雙齒螯合基團(tuán)；以及(a3)一四配位基團(tuán)，其中，以該組合物的總重量計(jì)，該(a)氧化鋁前體的濃度為約1重量%至約50重量%，且以1摩爾鋁元素計(jì)，基團(tuán)(a1)、(a2)及(a3)的摩爾數(shù)總和為≤3。本發(fā)明的涂料組合物可用于半導(dǎo)體制造工藝中制備鈍化層。本發(fā)明還提供使用該涂料組合物形成的復(fù)合材料。