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用于保持基板的基板載體

966   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:26:12
本發(fā)明涉及一種用于保持基板的基板載體,所述基板載體由承載框架(1)和至少一個(gè)基板容納件(2)構(gòu)成。承載框架(1)具有自支撐的而且撓曲剛性的框架結(jié)構(gòu),該框架結(jié)構(gòu)由彼此成角度地布置的縱向支撐條(6)與橫向支撐條(7)構(gòu)成,所述縱向支撐條(6)和橫向支撐條(7)由直至800℃仍形狀穩(wěn)定的材料構(gòu)成。基板容納件(2)平放在承載框架(1)上,并且以如下方式呈板狀地構(gòu)造,即,太陽(yáng)能電池晶圓(5)可以定位在基板容納件(2)的上側(cè)上。在承載框架(1)與基板容納件(2)之間存在有熱絕緣元件(9)。承載框架(1)的元件和基板容納件(2)由鋼、鈦、鋁、陶瓷、CFC(CFC=碳纖維增強(qiáng)的碳)或者由上述材料制成的復(fù)合材料來構(gòu)成。
聲明:
“用于保持基板的基板載體” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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