二氧化鈦基有機-無機復(fù)合薄膜的制備及采用該薄膜制備微光器件的方法,通過改進的溶膠-凝膠技術(shù)結(jié)合低溫有機-無機復(fù)合技術(shù)引入了有機光敏功能基團以實現(xiàn)具有光敏特性同時集光波導(dǎo)特性于一身的有機-無機復(fù)合光電子材料。并基于該類復(fù)合材料的紫外光敏特性結(jié)合掩模技術(shù)、熱熔回流技術(shù)和壓印技術(shù)進行低成本的脊型光波導(dǎo)器件和微透鏡陣列的制作。特別是本發(fā)明是基于在低溫下具有數(shù)微米厚、折射率可調(diào)和紫外光敏特性的單層光學(xué)質(zhì)量波導(dǎo)薄膜,所以非常利于光電子器件的集成化和低成本制作。