本發(fā)明屬于半導(dǎo)體領(lǐng)域所應(yīng)用的加熱保溫材料技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種智能溫控加熱保溫材料及其溫控系統(tǒng)，所述智能溫控加熱保溫材料包括形狀記憶合金層、隔熱復(fù)合材料層以及絕緣外套，所述記憶合金層和隔熱復(fù)合材料層中間設(shè)置溫度傳感器，在溫控系統(tǒng)的控制下，傳感器將檢測到的溫度傳遞給控制器，控制器將檢測溫度與設(shè)定溫度進(jìn)行比對，從而通過調(diào)整驅(qū)動電路電流的方向和大小來使熱電制冷器對智能溫控加熱保溫材料進(jìn)行加熱或者制冷，達(dá)到對工藝管路的溫度控制，本發(fā)明將加熱帶和保溫套制成一體結(jié)構(gòu)，既能提高人力物力的利用率，同時還能使反應(yīng)工藝正常進(jìn)行，保證薄膜產(chǎn)品的質(zhì)量，結(jié)構(gòu)簡單、合理、易于在半導(dǎo)體薄膜沉積應(yīng)用及制備技術(shù)領(lǐng)域推廣。