本發(fā)明公開(kāi)了一種光刻零涂層不粘金屬?gòu)N具及其制備工藝。本發(fā)明在金屬?gòu)N具基體表面光刻仿生荷葉微米級(jí)不粘結(jié)構(gòu)形貌，然后在光刻區(qū)域表面進(jìn)行物理氣相沉積非晶復(fù)合材料薄膜，再在非晶復(fù)合材料薄膜上光刻仿生荷葉納米級(jí)不粘結(jié)構(gòu)形貌，非晶復(fù)合材料薄膜包括在金屬?gòu)N具基體上從內(nèi)至外依次沉積的Ti或Zr金屬層、TiAlCrZrCN層和SiTiAlCrZrCN層。本發(fā)明的制備工藝是采用光刻技術(shù)在金屬?gòu)N具表面先光刻仿生荷葉微米形貌，然后在微米光刻區(qū)進(jìn)行物理氣相沉積得非晶復(fù)合材料薄膜，然后再光刻荷葉納米不粘形貌。本發(fā)明的廚具具有高硬度、高耐磨性、高耐腐蝕性、耐高溫、易清潔、不變色、無(wú)有機(jī)化學(xué)涂層、持久不粘。