本發(fā)明涉及一種熱解碳/二硫化鉬納米片/
石墨烯復(fù)合材料圖案化微電極的微加工工藝,包括:1)將石墨烯、二水鉬酸鈉、硫脲、水按1~10:400:600~700:10000~30000的質(zhì)量比混合均勻后,在反應(yīng)釜中進行水熱合成反應(yīng),水熱合成反應(yīng)完畢后經(jīng)過離心,干燥得到固體產(chǎn)物,將固體產(chǎn)物研磨,得到二硫化鉬納米片/石墨烯材料;2)將光刻膠與二硫化鉬納米片/石墨烯材料混合均勻然后涂覆于基板上烘干,再進行紫外光刻、顯影和潤洗,最后進行高溫?zé)峤夥磻?yīng)得到熱解碳/二硫化鉬納米片/石墨烯復(fù)合材料圖案化微電極。所得的微電極具有良好的
電化學(xué)性能,在微型傳感器和微型
儲能器件等領(lǐng)域有著良好的應(yīng)用前景。
聲明:
“熱解碳/二硫化鉬納米片/石墨烯復(fù)合材料圖案化微電極及其微加工工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)