為了改善硬質(zhì)合金的硬度、耐磨性，研發(fā)了一種沉積在硬質(zhì)合金表面的金剛石薄膜。采用YG3、YG6、YG10、YG13硬質(zhì)合金為原料，硬質(zhì)合金表面的金剛石薄膜，化學(xué)脫鈷處理能有效降低硬質(zhì)合金表面的Co含量，該方法對Co的去除更為徹底，對涂層的力學(xué)性能提升具有主要作用。進(jìn)過化學(xué)脫鈷處理的金剛石薄膜結(jié)構(gòu)致密，缺陷較少，力學(xué)性能優(yōu)異。所制得的沉積在硬質(zhì)合金表面的金剛石薄膜，其硬度、致密化程度、抗彎強(qiáng)度都得到大幅提升。本發(fā)明能夠為制備高性能的金剛石薄膜提供一種新的生產(chǎn)工藝。