一種多功能探針頭，由探針、彈簧片、套筒、導(dǎo)線 等組成，采用耙形彈簧片并用環(huán)氧定位環(huán)安裝定位的 結(jié)構(gòu)，使彈簧片與探針達(dá)到準(zhǔn)確對位，探針恒壓可靠， 從而提高探針頭的測量精度和保護(hù)被測物體表面不 易損傷。 本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)精密，耙形彈簧片占用平面長度 短，體積小，加工制造容易，成本低，并可針對不同的 測量對象，選用特定材料及形狀的金屬探針，具有可 以測量半導(dǎo)體材料、功能材料、導(dǎo)電薄膜的電阻率、面 電阻、型號及擊穿電壓等多種功能。