本發(fā)明公開了一種三維納米通孔的制造方法,屬于光刻技術(shù)領(lǐng)域,通過激光直寫結(jié)合可調(diào)控空間結(jié)構(gòu)光,能夠直接制造直徑<100nm的三維納米通孔,實(shí)現(xiàn)了一種納米孔直徑可控的三維納米通孔制造方法。本發(fā)明制造方法過程簡單,成本低廉,制造周期短,能實(shí)現(xiàn)納米通孔的可控制造,可以為微納流控、生物醫(yī)學(xué)、仿生
功能材料等領(lǐng)域的研究提供有效解決方案。
聲明:
“三維納米通孔的制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)