本發(fā)明利用等離子體氣相化學沉積類金剛石膜方法，采用多層弧面高頻電極、可溶性襯底及襯底連續(xù)移動裝置設(shè)計的類金剛石粉生產(chǎn)設(shè)備，解決了用于生產(chǎn)類金剛石粉的設(shè)備及其不間斷連續(xù)運行的問題。從而實現(xiàn)了類金剛石粉的工業(yè)化生產(chǎn)。類金剛石與金剛石性能并不完全相同，具有優(yōu)異的力學、化學、光學、電學、熱學性能，屬于新材料領(lǐng)域的功能材料。類金剛石(簡稱DLC)粉可以應用于制造研磨、拋光劑，抗化學腐蝕表面處理涂層，防紫外線涂層，抗老化劑，防曬護膚霜，集成電路熱沉，高能電容器，化工催化劑、添加劑等產(chǎn)品的生產(chǎn)原料。在航天、軍工、電子、機械、化工等行業(yè)具有廣闊的應用前景。