本發(fā)明涉及冶金和/或化學(xué)領(lǐng)域,更特別涉及用于生產(chǎn)四氟化硅氣體和由所述四氟化硅氣體生產(chǎn)多晶硅的方法和設(shè)備。用于由氟硅酸溶液生產(chǎn)四氟化硅的方法包括:生成、洗滌、干燥、分解酸提取物、將未分離的四氟化硅和氟化氫流鼓泡通過二氧化硅。硅生產(chǎn)方法包括使四氟化硅氣體和鎂蒸氣相互反應(yīng),然后分離最終產(chǎn)物。本發(fā)明可以生產(chǎn)高純硅、提高最終產(chǎn)率、改進(jìn)生產(chǎn)的環(huán)保特性、簡化硅生產(chǎn)過程并降低最終產(chǎn)物的生產(chǎn)成本。