本發(fā)明提供了一種用于減少晶圓邊緣良率測(cè)試問題的方法，包括：第一步驟：獲取對(duì)晶圓的鈍化層執(zhí)行光刻所將要采用的圖案化光罩和圖案化光阻；第二步驟：將所述圖案化光罩變成反相的以得到反相的圖案化光罩，而且在保持光阻圖案不變的情況下使得所述圖案化光阻的正負(fù)屬性變化以得到相反的圖案化光阻；第三步驟：利用所述反相的圖案化光罩和所述相反的圖案化光阻，對(duì)晶圓執(zhí)行光刻。在本發(fā)明的用于減少晶圓邊緣良率測(cè)試問題的方法中，將鈍化層的光罩和光阻都變成反相的，這樣既保持了晶圓中，除去邊緣位置開始的預(yù)定部分，其他部分圖形不變；而從邊緣起到預(yù)定部分，鈍化層保留下來，這樣就不會(huì)產(chǎn)生測(cè)試假失效的問題。