一種失效晶圓研磨裝置，包括：研磨臺(tái)，所述研磨臺(tái)具有研磨面，用于對(duì)失效晶圓的待研磨表面進(jìn)行研磨；研磨液自動(dòng)滴定單元，用于在所述研磨臺(tái)對(duì)失效晶圓的待研磨表面進(jìn)行研磨時(shí)，向所述研磨臺(tái)的研磨面上均勻的滴入研磨液。本發(fā)明的所述失效晶圓研磨裝置包括研磨液自動(dòng)滴定單元，所述研磨液自動(dòng)滴定單元能在所述研磨臺(tái)對(duì)失效晶圓的待研磨表面進(jìn)行研磨時(shí)，向所述研磨臺(tái)的研磨面上均勻的滴入研磨液，因而能準(zhǔn)確的控制研磨液滴入的速率和滴入的量，避免人工滴入研磨液帶來的研磨液浪費(fèi)，并能提高對(duì)失效晶圓的研磨均勻性，當(dāng)失效晶圓的背面在研磨時(shí)需要按壓時(shí)，操作人員或檢測(cè)人員可以雙手對(duì)失效晶圓的背面進(jìn)行按壓，提高對(duì)失效晶圓研磨的均勻性。