本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N高電阻結(jié)構(gòu)的原位溫度檢測(cè)裝置、芯片和失效檢測(cè)方法。該高電阻結(jié)構(gòu)的原位溫度檢測(cè)裝置包括：二極管，具有正極端子和負(fù)極端子；金屬導(dǎo)線，與二極管的負(fù)極端子相連接。二極管控制電流的走向，金屬導(dǎo)線用來(lái)感應(yīng)高電阻結(jié)構(gòu)輻射出的熱量，利用金屬導(dǎo)線的溫度與電阻之間的特定關(guān)系，即金屬導(dǎo)線的電阻值與電阻溫度系數(shù)的乘積為常數(shù)，即可通過(guò)本申請(qǐng)的原位溫度檢測(cè)裝置來(lái)檢測(cè)高電阻結(jié)構(gòu)的產(chǎn)生焦耳熱后的溫度值，進(jìn)而得到準(zhǔn)確的失效檢測(cè)結(jié)果。