本發(fā)明提供了一種電性失效分析的測試方法，包括：提供電性失效分析中各測試項的測試項函數(shù)；根據(jù)電性失效分析的測試需求，確定電性失效分析的測試項，基于測試項形成測試項關聯(lián)數(shù)據(jù)，測試項關聯(lián)數(shù)據(jù)與對應的測試項函數(shù)關聯(lián)；提供對應測試需求的測試文件，測試文件包括關聯(lián)于測試項的測試項關聯(lián)數(shù)據(jù)及對應的測試參數(shù)；運行測試文件，獲取測試結(jié)果；根據(jù)測試結(jié)果和測試需求，在需修改測試文件時，調(diào)整所述測試參數(shù)。本發(fā)明還提供了一種電性失效分析的測試裝置。本發(fā)明提供的技術(shù)方案無需了解測試程序即可修改測試參數(shù)并且無需反復加載和編譯測試程序即可靈活改變測試流。