本發(fā)明的一種多鐵性材料納米尺度疇結(jié)構(gòu)的原位集成表征裝置，包括：用于對(duì)被測(cè)多鐵性材料進(jìn)行多鐵性疇結(jié)構(gòu)的原位激發(fā)以使該被測(cè)多鐵性材料的激勵(lì)點(diǎn)產(chǎn)生疇結(jié)構(gòu)成像信號(hào)的原子力顯微鏡原位激勵(lì)平臺(tái)；對(duì)所述疇結(jié)構(gòu)成像信號(hào)進(jìn)行原位實(shí)時(shí)檢測(cè)和數(shù)據(jù)處理并實(shí)時(shí)顯示所述多鐵性疇結(jié)構(gòu)的原位成像表征結(jié)果的原位檢測(cè)平臺(tái)。采用本發(fā)明，能夠有效進(jìn)行多鐵性材料納米尺度鐵電疇、鐵磁疇的原位、無損、實(shí)時(shí)、動(dòng)態(tài)、集成表征。