本發(fā)明公開了一種多層薄膜層間粘附性能表征方法及其試樣制備方法，其包括步驟：制備檢測試樣，首先解理鍍有待測多層薄膜的晶片和未鍍膜的襯底晶片，直接獲得側(cè)壁平整光滑、無損傷的薄膜小試片和襯底小試片，隨后通過試片粘結(jié)、背面開槽等步驟完成檢測試樣的制備；利用四點彎曲法(4PB)測試薄膜層間粘附力；利用掃描電子顯微鏡(SEM)觀察經(jīng)過4PB測試所形成的試片截面。本發(fā)明通過優(yōu)化試樣的制備方法和四點彎曲法的測試參數(shù)，大幅縮短了測試周期，提高了測試成功率以及測試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性；而通過SEM直接觀察經(jīng)過4PB測試所形成的試樣截面，可以快速地確定多層薄膜層間結(jié)合最薄弱的界面，從而為相關(guān)工藝改進指明方向。