本發(fā)明公開了一種用于表面三維形貌測量的白光干涉系統(tǒng)，可對(duì)精密元器件提供無損、快速、高精度、電動(dòng)的表面三維形貌測量。照明模塊對(duì)光進(jìn)行準(zhǔn)直整形，成像模塊將準(zhǔn)直整形后的光分為物光和參考光，兩束光的反射光合束后干涉，條紋調(diào)整和掃描模塊調(diào)整參考鏡的偏轉(zhuǎn)姿態(tài)，在干涉條紋滿足掃描要求時(shí)進(jìn)行掃描，成像模塊將干涉光放大成像后傳輸給處理模塊，處理模塊根據(jù)圖像重現(xiàn)被測樣品的表面三維形貌，被測樣品利用樣品夾持模塊固定且利用對(duì)焦模塊實(shí)現(xiàn)對(duì)焦，照明模塊、條紋調(diào)整和掃描模塊和成像模塊利用系統(tǒng)固定模塊固定，整個(gè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊，具有體積小、便于集成、易于搬運(yùn)、適合異地測試等優(yōu)勢，且參考鏡的偏轉(zhuǎn)角度可以實(shí)現(xiàn)電動(dòng)精確調(diào)節(jié)。