本發(fā)明公開(kāi)了一種單細(xì)胞陣列電測(cè)量微芯片，包括基底、陣列式的多個(gè)定位微電極、陣列式的多個(gè)電測(cè)量微電極對(duì)和樣品池微腔體，本發(fā)明還公開(kāi)了單細(xì)胞陣列電測(cè)量微芯片的制造方法、以及利用該微芯片對(duì)細(xì)胞進(jìn)行電測(cè)量和電穿孔的方法。本發(fā)明將細(xì)胞定位與細(xì)胞電測(cè)量和電穿孔相結(jié)合，采用無(wú)標(biāo)記、無(wú)損傷的微操縱、定位和參數(shù)測(cè)量分析技術(shù)，實(shí)現(xiàn)單細(xì)胞陣列、多模式的原位在線測(cè)量和分析；由于定位后的細(xì)胞位置固定，可有效提高細(xì)胞的電學(xué)檢測(cè)精度，并可提升細(xì)胞的電穿孔效率、降低細(xì)胞死亡率。本發(fā)明還將自動(dòng)化控制技術(shù)引入細(xì)胞微操縱和電測(cè)量中，通過(guò)電測(cè)量反饋進(jìn)行細(xì)胞定位的自動(dòng)控制，最終能夠?qū)崿F(xiàn)快速、精確和多模式的細(xì)胞自動(dòng)化測(cè)量和分析。