本發(fā)明提出了一種低真空痕量氣體的快速無(wú)損采樣分析裝置和方法，該裝置包括真空獲得模塊、采樣模塊、氣體分析模塊和控制模塊。其中真空獲得模塊包括二級(jí)真空腔室、真空泵組和隔斷閥。采樣模塊包括工藝腔室、連接法蘭、采樣細(xì)管、截止閥、微孔法蘭、二級(jí)真空腔室和電離單元的微孔。氣體分析模塊包括總壓監(jiān)測(cè)器、電離單元、質(zhì)量分析器和探測(cè)器等。本發(fā)明裝置解決了低真空氣體采樣分析過(guò)程中出現(xiàn)的質(zhì)量歧視效應(yīng)，真正做到了無(wú)損采樣，測(cè)試結(jié)果準(zhǔn)確；半封閉式電離單元可保持更高壓力，提高了采樣量；降低了采樣時(shí)二級(jí)真空腔室的本底，降低了采樣帶來(lái)的本底干擾和微量氣體的損失，進(jìn)一步提高了裝置的檢測(cè)下限，更能分析具有極低濃度的氣體。