本發(fā)明公開(kāi)一種利用微波加熱氯化焙燒提純石英砂的方法，包括如下步驟：(1)將石英礦石破碎篩分，得到石英砂；(2)將石英砂與氯化物鹽進(jìn)行均勻混合，得到混合物；(3)將所述混合物進(jìn)行微波加熱，然后保溫，得到經(jīng)微波處理后的石英砂；(4)將經(jīng)微波處理后的石英砂倒進(jìn)水中進(jìn)行水淬并在水中浸泡漂洗去除殘余的氯化物鹽后撈出；(5)將石英砂與酸性溶液混合進(jìn)行酸浸處理；(6)將石英砂撈出，用水沖洗清洗至中性，烘干。本發(fā)明提高石英砂中雜質(zhì)元素特別是重點(diǎn)雜質(zhì)元素Al的去除率，達(dá)到97.6％，其含量降低到17.9ppm，接近電子級(jí)超高純石英砂需要的水平，處理溫度相對(duì)較低，能耗低，對(duì)設(shè)備腐蝕程度小，采用氯化物鹽作為氯化劑，操作簡(jiǎn)便易行，易于在工業(yè)生產(chǎn)中推廣應(yīng)用。