一種微電子技術(shù)領(lǐng)域的壓電驅(qū)動的微混合芯片,包括:密封蓋層、通道層、壓電控制器,密封蓋層與通道層通過離子鍵合技術(shù)或者熱鍵合技術(shù)密封在一起,密封蓋層上側(cè)設(shè)有三個(gè)壓電控制器安裝槽,壓電控制器以粘貼方式嵌入密封蓋層上側(cè)的三個(gè)壓電控制器安裝槽內(nèi),通道層上設(shè)有循環(huán)流體通道;所述的三個(gè)壓電控制器通過邏輯順序作用于其下通道層循環(huán)流體通道,循環(huán)流體通道按照順序開啟、閉合,通過這種邏輯開關(guān)順序,形成片上蠕動泵。本發(fā)明結(jié)合了通道式混合器和微腔混合器的特點(diǎn),使不同試劑間的擴(kuò)散和主動對流得到加強(qiáng),從而提升混合效率,可以廣泛用于生物試劑、化學(xué)試劑濃度和組分的實(shí)時(shí)測定,對于預(yù)防醫(yī)學(xué)、環(huán)境水源監(jiān)控都具有很強(qiáng)的實(shí)用價(jià)值。