氧氣和水分對C5F10O氣體分解行為特性影響的模擬方法及系統(tǒng)，其特征在于，包括以下步驟：步驟1，設計待分解的模擬氣體，并設置待分解的模擬氣體的化學反應模擬條件；步驟2，對所述化學反應實施至少一次分子反應動力學模擬，獲取所述化學反應模擬過程中的分解物變化趨勢；步驟3，基于所述分解物變化趨勢，利用密度泛函算法獲取化學反應模擬過程中分解物的過渡態(tài)和能壘。本發(fā)明方法能夠快速、準確地分析出氧氣和水分對C₅F₁₀O氣體分解行為特性的影響，模擬成本低、結果準確，能夠有效的指導充入有C₅F₁₀O氣體的各類高壓設備或電子設備的維護與更換。