本發(fā)明涉及半導體制造行業(yè)的失效分析領域，尤其涉及一種應用于光發(fā)射顯微鏡的固定裝置，包括底座和位于該底座上的若干條擋塊，且該底座與所述若干條擋塊共同構成承載主體；所述若干條擋塊之間形成了多個樣品槽，且每相鄰的兩條擋塊之間分別設置有一條滑塊。該結構使得本發(fā)明的芯片測試結構不會被膠帶遮擋而影響到探針扎針，芯片表面也不會受到污染；同時，芯片背面與固定裝置底座充分接觸，不會因傾斜而影響光發(fā)射顯微鏡的鏡頭聚焦；再次，當探針進行扎針時，針尖與芯片不會發(fā)生相對滑動，而且整個操作過程不涉及化學物品，安全無害。從而可以幫助分析人員快速、高效、安全地進行缺陷定位分析工作，提高了失效定位率和成功率。