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對象物的物理量測定方法及控制方法

745   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:28:48
本發(fā)明涉及一種光傳感技術(shù),其用于利用布里淵散射現(xiàn)象,對存在于微細(xì)構(gòu)造物上或微細(xì)構(gòu)造物中的對象物的物理量進(jìn)行測定及控制。在該測定方法中,在微型化學(xué)芯片或IC芯片等元件上或元件中一維至三維地設(shè)置光波導(dǎo)路,基于該光波導(dǎo)路中產(chǎn)生的布里淵散射光的特性變化,測定對象物的物理量。
聲明:
“對象物的物理量測定方法及控制方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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