本發(fā)明涉及一種測(cè)試薄膜殘余應(yīng)力及其沿層深 分布的方法。采用光杠桿系統(tǒng)測(cè)量試片曲率半徑，由激光器產(chǎn) 生的入射光束，依次經(jīng)由“半透鏡”與試片表面的透射和反射， 到達(dá)硅光電池接收器。反射光束隨拱形試片水平運(yùn)動(dòng)而偏轉(zhuǎn)， 試片的移動(dòng)距離l與硅光電池隨光束偏轉(zhuǎn)而移動(dòng)的距離D存在 線性關(guān)系，由此關(guān)系的斜率可計(jì)算試片曲率半徑。利用化學(xué) 或電化學(xué)等方法將試片上的薄膜逐層剝除，求出每次剝除前 后試片曲率半徑的當(dāng)量變化量 Ri*，并將該變化量，基片彈性常數(shù) Es、 vs和基片厚度 hs，及每次剝除薄膜的厚度 hl代入式 ，即可求得每層薄膜的殘余應(yīng)力，從而得到薄膜的殘 余應(yīng)力及其沿層深方向的分布。本發(fā)明中提出的光杠桿系統(tǒng)測(cè) 量試片曲率半徑方法，設(shè)計(jì)新穎，測(cè)量精度高。