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用于終點檢測的拋光襯墊及相關方法

745   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網  
2023-03-19 07:20:08
一種具有拋光層(22)的拋光襯墊,該拋光層有拋光面(24)和底面。拋光面上形成有多條溝槽(28b),且在拋光層的底面上形成有凹槽(52)。在拋光面上對應于底面中的凹槽的區(qū)域沒有溝槽或有淺溝槽(28a)。
聲明:
“用于終點檢測的拋光襯墊及相關方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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